W. Zhu et al. ייצרו אבקות אולטרה-עדינות בטוהר גבוה ב-1200 ~ 1400 מעלות על ידי שקיעת אדים כימית באמצעות סילאן ואצטילן כגזי תגובה ומימן כגז נשא. שימוש בהקסמתילסילאן כמקור התגובה ומימן וארגון כגזי נשא, Anaguta et al. יצרו גם אבקות סיליקון בטוהר גבוה במיוחד על ידי שקיעת אדים כימית ב-1050 ~ 1250 מעלות.
חברי שתי קבוצות המחקר הללו השתמשו בשקיעת אדים כימית כדי לייצר אבקות סיליקון בטוהר גבוה באמצעות מקורות גז אורגניים. עם זאת, האבקות האולטרה-דקות המיוצרות היו בקנה מידה ננומטרי. למרות שהטוהר גבוה, היא אינה קלה לאיסוף ואינה מתאימה לייצור אבקת סיליקון טוהר גבוה בכמויות גדולות, שאינה תורמת להתפתחות התיעוש בשלב מאוחר יותר.
שיטת ייצור עם הובלה אוטומטית
שיטה זו לוקחת אבקת סיליקון ופחמן שחור כחומרי גלם, מוסיפה מפעילים אחרים ומגיבה ישירות ב-1000 ~ 1150 מעלות ליצירת אבקה. הכנסת זרז תשפיע בהכרח על הטוהר והאיכות של אבקת הסיליקון המיוצרת בטוהר גבוה.
לכן, חוקרים רבים הציעו שיטת סינתזה משופרת להפצה עצמית על בסיס זה. השיפור העיקרי הוא הימנעות מהחדרת מפעיל ולהבטיח תגובת ייצור מתמשכת ויעילה על ידי הגדלת טמפרטורת הייצור ואספקת חום רציפה. כבר בשנת 1999, ביפן, אבקות בגודל חלקיקים של 10 ~ 500 מיקרומטר יוצרו בשיטת בעירה בטווח של 1700 ~ 2000 מעלות תוך שימוש באתיל אורתוזיליקט כמקור הסיליקון ושרף פנולי כמקור הפחמן, וחלק המסה של תוכן הטומאה היה פחות מ-0.5 × 10-6.
עם זאת, המגיבים של שיטה זו משתמשים בחומרים אורגניים, ולכן עלות חומר הגלם היא גבוהה, מה שלא תורם לייצור בקנה מידה גדול של אבקת סיליקון בטוהר גבוה. חוקרים במכון שנחאי לחקר הסיליקון של האקדמיה הסינית למדעים יוצרו בטמפרטורה גבוהה באווירת ארגון עם שברי מסה של 99.9% ו-99.999%, בהתאמה.
החוקרים השתמשו בפחמן פעיל (גודל חלקיקים 20 ~ 100 מיקרומטר) ובגרפיט פתיתים (גודל חלקיקים 5 ~ 25 מיקרומטר) כמקור הפחמן (שבריר מסה 99.9%) וסיליקון בטוהר גבוה כמקור הסיליקון (גודל חלקיקים 10 ~ 270 מיקרון) , שבר מסה 99.999%), בהתאמה.
אבקת הסיליקון בטוהר גבוה הוכנה בתנור סינטר בוואקום בטמפרטורה גבוהה ב-1900 מעלות תחת אווירת ארגון. הניסויים הראו שהטוהר של הוואקום הגבוה המיוצר היה עדיף על זה של אבקת הסיליקון הטוהר הגבוה המיוצרת תחת גז נשא. בנוסף, גידלו מונו-גבישים באמצעות אבקת סיליקון בטוהר גבוה המיוצרת תחת ואקום גבוה. התוצאות מראות שהחד-גבישים הגדלים הם בעלי טוהר גבוה ובעלי תכונות חצי בידודיות מצוינות, העומדות בדרישות של מכשירים קשורים לתכונות החשמליות של מצעים מבודדים למחצה. תחזית לטכנולוגיית ייצור אבקה בטוהר גבוה
ייצור עצמי משופר הוא שיטה נפוצה לגידול גבישים בודדים במעבדה בגלל עלות חומר הגלם הנמוכה והפשטות שלה. נמצא כי פרמטרים שונים של תהליך ייצור משפיעים על מוצרי הייצור.
