על פי שיטת הייצור, ניתן לחלק מוצרי סיליקון ניטריד למוצרי סינון תגובה, מוצרים דחופים חמים, מוצרי סינון אטמוספריים, מוצרים דחופים איזוסטטיים ומוצרי ירי תגובה מחדש. ביניהם, סינון התגובה הוא שיטה נרחבת לייצור מוצרי סיליקון ניטריד עקשן.
שיטת הסינון התגובה מאפשרת להשיג מוצרים מסיליקון ניטריד על ידי לחיצה או לחיצה איזוסטטית של אבקת סיליקון טחונה דק (גודל החלקיקים בדרך כלל אינו עולה על 80 מיקרומטר), ייבוש הגוף הירוק, מחמם אותו לתואר {}} בחנקן וחנקן בתהליך הצלייה. בשיטת ייצור זו, תנאי חומר הגלם, תהליך הצלייה והאווירה משפיעים מאוד על ביצועי המוצר.
אבקת סיליקון מכילה זיהומים רבים, כמו Fe, Ca, Al, Ti וכו '. Fe נחשבת לזרז בתהליך התגובה. זה יכול לקדם את התפשטות הסיליקון, אך יחד עם זאת זה יכול לגרום למומים כמו נקבוביות. התפקיד העיקרי של Fe כתוסף: הוא יכול לשמש כזרז בתהליך התגובה, ולקידום היווצרות סרט תחמוצת SiO2 על פני המוצר; יוצרים מערכת נמס ברזל -סיליקון, וחנקן מתמוסס ב- FESI2 נוזלי, ותורם להיווצרות -si3n4. עם זאת, אם חלקיקי הברזל גדולים מדי או גבוהים מדי, מופיעים פגמים כמו נקבוביות במוצר, מה שמקטין את ביצועיו. באופן כללי, כמות הברזל שנוספה היא 0-5%. זיהומים כמו Al, Ca ו- Ti יוצרים בקלות אאוטקטיקה נמוכה עם סיליקון. כמות מתאימה של תוספים יכולה לקדם את הסינון ולשפר את ביצועי המוצר.
ככל שגודל החלקיקים עדין יותר של אבקת הסיליקון, שטח הפנים הספציפי גדול יותר וטמפרטורת הירי נמוך יותר. בהשוואה לאבקת סיליקון גדולה יותר, אבקת סיליקון עדינה יותר מכילה יותר -si3n4 במוצר. הפחתת גודל החלקיקים של אבקת סיליקון יכולה להפחית את גודל הנקבוביות המיקרוסקופיות במוצר. יחס גודל חלקיקים מתאים יכול להגדיל את צפיפות המוצר.
לטמפרטורה השפעה רבה על קצב החנקן. התגובה החנקנית מתחילה בטמפרטורה של 970-1000, וקצב התגובה מואץ בטמפרטורה של כ- 1250 מעלות. בשלב הטמפרטורה הגבוה, מכיוון שמדובר בתגובה אקסותרמית, אם הטמפרטורה חורגת במהירות מנקודת ההיתוך של הסיליקון (1420 מעלות), עלולה להתרחש זרימת סיליקון, וחסר אבקת סיליקון חזק יימס ויתמוטט.
